Implantación iónica en InP para aplicaciones en dispositivos

La presente tesis muestra en primer lugar los sistemas de control diseñados y desarrollados para conseguir el perfecto funcionamiento del implantador de la facultad de físicas. Se presenta luego un completo estudio de la obtención por implantación de capas tipo n (por implantaciones de si y si/p), t...

Descripción completa

Detalles Bibliográficos
Autor: Martín Pacheco, Jaime Miguel
Tipo de recurso: tesis doctoral
Fecha de publicación:2002
País:España
Institución:Universidad Complutense de Madrid (UCM)
Repositorio:Docta Complutense
Idioma:español
OAI Identifier:oai:docta.ucm.es:20.500.14352/62854
Acceso en línea:https://hdl.handle.net/20.500.14352/62854
Access Level:acceso abierto
Palabra clave:Telecomunicaciones
Electricidad
3325 Tecnología de las Telecomunicaciones
2202.03 Electricidad
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