Detection Limits in Nanomechanical Mass Flow Sensing for Nanofluidics With Nanowire Open Channels

Trabajo presentado en la 36th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), celebrada en Munich (Alemania), del 15 al 19 de enero de 2023.

Detalhes bibliográficos
Autores: Escobar, Javier Enrique, Molina Fernández, Juan, Gil-Santos, Eduardo, Ruz Martínez, José Jaime, Malvar, Óscar, Kosaka, Priscila M., Tamayo de Miguel, Francisco Javier, San Paulo, Álvaro, Calleja, Montserrat
Tipo de documento: artigo
Estado:Versión aceptada para publicación
Data de publicação:2023
País:España
Recursos:Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC)
Repositório:DIGITAL.CSIC. Repositorio Institucional del CSIC
OAI Identifier:oai:digital.csic.es:10261/311417
Acesso em linha:http://hdl.handle.net/10261/311417
Access Level:Acceso aberto
Palavra-chave:Semiconductor nanowires
NEMS
Nanomechanical resonators
Nanofluidics
Open fluidics
Ionic liquids
Descrição
Resumo:Trabajo presentado en la 36th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), celebrada en Munich (Alemania), del 15 al 19 de enero de 2023.

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