Microestructura de recubrimientos de nitruros metálicos de transición producidos con la técnica de sputtering asistido con campos magnéticos variables.

Detalhes bibliográficos
Autor: Olaya, J. J.
Tipo de documento: artigo
Estado:Versão publicada
Data de publicação:2007
País:Colombia
Recursos:Universidad Nacional de Colombia
Repositório:Repositorio UN
Idioma:espanhol
OAI Identifier:oai:repositorio.unal.edu.co:unal/73656
Acesso em linha:https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/73656
http://bdigital.unal.edu.co/38132/
Access Level:Acceso aberto
Palavra-chave:Magnetrón desbalanceado
nitruros metálicos de transición
microestructura
orientación preferencial.
Unbalanced magnetron
transition metallic nitride
microstructure
preferential growth.
Descrição
Descrição não disponível.